VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
VDI-Richtlinie: VDI 2083 Blatt 3
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 13.040.35 |
| Deutscher Titel: | Reinraumtechnik - Messtechnik in der Reinraumluft |
| Englischer Titel: | Cleanroom technology - Metrology and test methods |
| Ausgabedatum: | 2005-07 |
| Überprüft und bestätigt: | 2010-08 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik |
| Autor: | VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung |
| zugehörige Handbücher: | VDI-Handbuch Reinraumtechnik |
| Seitenanzahl: | 40 |
| Preis: | 92,90 EUR |
| Kurzreferat: | Das Dokument gilt für Meßverfahren und Meßgeräte im Zusammenhang mit Abnahmemessungen und der Überwachung von in Betrieb befindlichen Reinraumtechnischen Anlagen. Für die Prüfung der einzelnen Elemente von Reinraumtechnischen Anlagen gelten gesonderte Normen und Richtlinien. Die hier beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet und unterscheiden sich insofern von Messverfahren für sonstige technische Systeme. |
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