VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
VDI-Richtlinie: VDI 2083 Blatt 7
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 13.040.35 |
| Deutscher Titel: | Reinraumtechnik - Reinheit von Prozessmedien |
| Englischer Titel: | Cleanroom technology - Cleanliness of process media |
| Ausgabedatum: | 2006-11 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik |
| Autor: | VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung |
| zugehörige Handbücher: | VDI-Handbuch Reinraumtechnik |
| Seitenanzahl: | 31 |
| Preis: | 83,80 EUR |
| Kurzreferat: | Die Aufreinigung von Prozessmedien ist eine Komponente des reinen Arbeitens. Die Reinheit der Prozessmedien wird durch eine Vielzahl möglicher Kontaminationsquellen beeinflusst. In der vorliegenden Richtlinie wird vor allem der Einfluss partikulärer Kontaminationen bewertet. Die Partikelreinheit der in Reinräumen gefertigten Produkte ist nicht Gegenstand dieser Richtlinie. |
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