VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung

VDI-Richtlinienausschuss 2083/16 "Barrieresysteme"

VDI-Richtlinienausschuss 2083/16.1 "Isolatoren"

Mitglieder	Die Mitglieder, die in ehrenamtlicher Gemeinschaftsarbeit dem VDI ihr Fachwissen zur Verfügung stellen, repräsentieren die Bereiche Industrie, Verbände und Hochschulen, Anwendung, Herstellung, Planung und Ausführung.
Vorsitzender	Dr. Horst Weißsieker TÜV SÜD Cleancert GmbH Friedrich-Ebert-Straße Geb. 33 51429 Bergisch Gladbach email: horst.weissieker@tuev-sued.de
Geschäftsstelle	Verein Deutscher Ingenieure VDI e.V. Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung Dipl.-Phys. Thomas Wollstein Postfach 10 11 39 40002 Düsseldorf Telefon: +49 (0) 211 62 14-5 00 Telefax: +49 (0) 211 62 14-1 77 E-Mail: gbg@vdi.de

Inhalt / Ziele

Diese Richtlinie soll Hinweise für Barrieresysteme in der Halbleitertechnik, sogenannte Minienvironments geben. Planer, Hersteller, Nutzer und Betreiber von reinen Arbeitsbereichen müssen die Anforderung an das Produkt und dessen Umgebung definieren und schriftlich fixieren.

Der Anwendungsbereich der Richtlinie umfasst jede Art von besonderer Abgrenzung zwischen Raum und Prozessumgebung, die der Kontaminationskontrolle dient; dies beinhaltet sowohl dynamische als auch feste Barrieren. Es werden alle Arten von Kontamination (partikulär und chemisch/molekular, biologisch).

Sie dient der Ergänzung und Erläuterung von EN ISO 14644-7 im Hinblick auf die praktische Anwendung.

Mitarbeiter im Ausschuss sind derzeit:

Dr.-Ing. Jürgen Blattner VDI,Oberhausen-Rheinhausen
Dr.-Ing. Lothar Gail, VDI, Wiesbaden
Dipl.-Ing. Hans-Christian Gath, Crailsheim
Dr.-Ing. Udo Gommel VDI, Stuttgart
Dipl.-Ing. Thomas Hinrichs, Elmshorn
Dipl.-Ing. Michael Kuhn VDI, Offenburg
Dipl.-Ing. (FH) Frank Lehmann, Allschwil (CH)
Dipl.-Ing. (FH) Karl-Heinz Lotz VDI, Reiskirchen
Joachim Ludwig, Kahla
Dipl.-Ing. (FH) Detlef Nuppenau, Schwarzenbek
Dr. Siegfried Opiolka, Duisburg
Jan Ott, Hamburg
Dipl.-Ing. (FH) Claudia Pachl VDI, Neuhausen am Rheinfall
Dr. Johannes Rauschnabel, Crailsheim
Dipl.-Ing. Steffen Röhm VDI, Marburg
Dipl.-Ing. Stefan Schrankler, Rastatt
Dipl.-Ing. Edgar C. Sirch VDI, Dießen
Dr.-Ing. Dirk Stanischewski VDI, Frankfurt
Alexandra Stärk Stein (CH)
Peter Strahl, Hamburg
Sigwarth Volker, Basel
Dr. Horst Weißsieker VDI, Bergisch Gladbach (Vorsitzender)
Michael Wilcke, Rastatt

VDI-Richtlinienausschuss 2083/16.2 "Minienviroments"

Die Richtlinie VDI 2083/16.2 "Reinraumtechnik; Barrieresysteme; Mini-Environments" befindet sich derzeit in der Bearbeitung.

Mitglieder im Ausschuss sind derzeit:

Altmann, Roswitha; Erlangen
Artmann, Thomas; Pforzheim
Bürger, Frank Friedrich; Dipl.-Ing. (FH); Stuttgart
Dobler,   Maximilian; Dr.; Heuchelheim
Gettel,   Astrid
Hocke, Christoph; Dresden
Honold,   Alfred; Sinzing
Ludwig,   Joachim; Kahla
Machmüller, Andreas; Dipl. Ing.; Heuchelheim
Otto, Michael; Dr.; Erlangen
Pfitzner, Lothar; Prof. Dr.-Ing.; Erlangen
Röhm, Steffen; Dipl.-Ing.; Marburg
Roos, Hannes; Reinfeld
Sigrist, Robert; Dipl.-Ing.(FH); Reutlingen
Weißsieker, Horst; Dr.; Bergisch Gladbach
Wollstein, Thomas; Düsseldorf