VDI-Richtlinienausschuss 2083/7 Reinraumtechnik; Reinstmedien; Qualität und Verteilung

Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien.

Dr. Marion Bolkenius, Ottendorf-Okrilla
Dipl.-Ing. (FH) Stefan Grözinger, Stuttgart (Vorsitz)
Dipl.-Ing. (FH) Andreas Marjoram VDI, Leverkusen
Dipl.-Ing. Rolf Nagel, Stuttgart (stellv. Vorsitz)
Dipl.-Ing. Norbert Otto, Rottendorf
Dipl.-Ing. (FH) Jens Pallas, Klipphausen
Dr. Frank Petzold, Ottendorf-Okrilla
Dipl.-Ing. Reiner Schneider VDI, Köln
Dipl.-Ing. (FH) Michael von Schoenebeck, München
Prof. Dr. Horst Weißsieker VDI, Bergisch Gladbach