Fachbereich 3: Fertigungsmesstechnik
Fachausschuss 3.41 Oberflächenmesstechnik im Mikro- und Nanometerbereich
Fachliche Schwerpunkte der Arbeit
Der VDI/VDE-GMA Fachausschuss 3.41 „Oberflächenmesstechnik im Mikro- und Nanometerbereich“ ist ein Fachausschuss mit dem Tätigkeitsbereich „Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik“.
Er erarbeitet Richtlinien für das Kalibrieren von Messgeräten, die in der Mikro- und Nanotechnik eingesetzt werden, sowie für die benötigten Normale.
Er hat folgende Themenstellungen:
- Optische Messtechnik für Rauheit und OberflächenstrukturenOptische Messtechnik für Rauheit und Oberflächenstrukturen, zum Beispiel konfokale Messtechniken, Weißlichtinterferometrie, phasenschiebende Verfahren
- Rastersondenmikroskopie
- Überprüfung der bestehenden geometrischen Mess- und Kennwerte auf ihre Sinnhaftigkeit in der Mikro- und Nanometrologie. Dazu zählen die 18 GPS-Kennwerte sowie weitere, in der Normung beschriebenen Oberflächen- und Gestaltmerkmale.
- Übertragung von dreidimensionalen, nicht genormten Oberflächenparametern auf die Mikro- und Nanomesstechnik. Dies beinhaltet unter anderem die von Stout vorgeschlagenen dreidimensionalen geometrischen und funktionalen Oberflächenkenngrößen.
- Einführung weiterer, sturkturorientierter Parameter für mikro- und nanostrukturierte Oberflächen. Dazu gehören auch die zugehörigen Charakterisierungs- und Berechnungsmethoden.
- Diskussion von dimensionsunabhängigen mathematischen Verfahren zur Berechnung von Oberflächenkenngrößen (Fraktale Methoden, Bildverarbeitung und Strukturextraktion).
Die Aufbereitung der genannten Themenstellungen sollen dem VDI/VDE als Grundlage für die Definition neuer Richtlinien in der Mikro- und Nanometrologie dienen.
Ergebnisse der Arbeiten
 = Entwurf
 = zurückgezogen
 = überprüft vom zuständigen Ausschuss |
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| Name | Titel | Ausgabedatum | Status |
| VDI/VDE 2655 Blatt 1.1 | Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung | 2008-03 | |
| VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 | Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung | 2010-10 | |
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= Entwurf
= zurückgezogen
= überprüft vom zuständigen Ausschuss |
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| Name | Titel | Ausgabedatum | Status |
| VDI/VDE 2656 Blatt 1 | Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen | 2008-06 | |
Die Richtlinien sind zu beziehen über den
Beuth Verlag
10772 Berlin
Tel.: +49 (0) 30/2601-2260
Fax: +49 (0) 30/2601-1260
Mitarbeiter
Die Mitglieder des Ausschusses setzen sich aus Firmenvertretern und Institutsmitarbeitern zusammen, so dass eine wissenschaftlich fundierte und praxisbezogene Arbeit gewährleistet ist.
Der Ausschuss tagt etwa halbjährlich.
Themenanregungen und entsprechende Mitarbeit sind willkommen.
Vorsitzender:
Dr. Ludger Koenders, Braunschweig
Stellvertreter:
Dr. rer.nat. Dipl.-Phys. Mark A. Weber, Oberhausen
