VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Richtlinien
VDI-Richtlinie: VDI/VDE 2656 Blatt 1
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 17.040.01 ,19.060 |
| Deutscher Titel: | Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen |
| Englischer Titel: | Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes - Calibration of measurement systems |
| Ausgabedatum: | 2008-06 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik |
| Autor: | Fachbereich Fertigungsmesstechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren - Band 3: Betriebsmittel VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 82 |
| Preis: | 155,10 EUR |
| Kurzreferat: | Diese Richtlinie ist beschränkt auf Rastersondenmikroskope und deren Kalibrierung. Ein Rastersondenmikroskop ist ein seriell arbeitendes Messgerät, das mit einer entsprechend feinen Sonde die Oberfläche des Messobjekts unter Ausnutzung einer lokalen physikalischen Wechselwirkung (wie dem quantenmechanischen Tunneleffekt, zwischenatomaren bzw. -molekularen Kräften, evaneszenten Moden des elektromagnetischen Feldes) nachfährt, wobei Sonde und Messobjekt nach einem zuvor festgelegten Schema in einer Ebene (nachfolgend x-y-Ebene genannt) relativ zueinander bewegt werden, während das Signal der Wechselwirkung aufgezeichnet wird und für die Regelung des Abstands zwischen Sonde und Messobjekt verwendet werden kann. In dieser Richtlinie werden solche Signale betrachtet, die zur Topografie-Bestimmung genutzt werden (nachfolgend "z-Signa" genannt). |
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