VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Richtlinien
VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 1
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik; Einführung, Begriffe und Definitionen |
| Englischer Titel: | Mask engineering; introduction, terms and definitions |
| Ausgabedatum: | 1985-12 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 7 |
| Preis: | 35,90 EUR |
| Kurzreferat: | Die Richtlinie soll dem Hersteller oder Anwender von Masken in knapper Form einen Überblick über die derzeitige Maskentechnik geben. Sie enthält darüber hinaus für die Praxis wichtige Hinweise auf Begriffe, Definitionen, Spezifikationen und Arbeitsmethoden. |
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