VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Richtlinien
VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 6
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik - Pellicles |
| Englischer Titel: | Mask engineering - Pellicles |
| Ausgabedatum: | 1999-03 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 5 |
| Preis: | 35,90 EUR |
| Kurzreferat: | Die Spezifikation beinhaltet die allgemeinen Anforderungen an Pellicles, wie sie zum Schutz von Photomasken verwendet werden. Sie entsprechen weitgehend den von SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute, Inc.) in den USA gemachten Standardsisierungsvorschlägen P5/86. Anwendungen für Bestrahlungen mit kurzwelligen UV-Licht (Wellenlänge <kleiner =>360 nm) sind noch nicht berücksichtigt. |
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