VDI-Fachbereich Max-Eyth Gesellschaft Agrartechnik
Richtlinien
VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 2
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik; Substrate |
| Englischer Titel: | Mask engineering; substrates |
| Ausgabedatum: | 1987-06 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 8 |
| Preis: | 35,90 EUR |
| Kurzreferat: | Die Spezifikation beinhaltet die allgemeinen Anforderungen an den Träger für Hartschicht-Fotomasken. |
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