VDI-Fachbereich Max-Eyth Gesellschaft Agrartechnik
Richtlinien
VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 5
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik; Blank-Defekte |
| Englischer Titel: | Mask engineering; blank defects |
| Ausgabedatum: | 1988-02 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 10 |
| Preis: | 49,50 EUR |
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