VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 4
| Technische Regel: | Richtlinien-Entwurf |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik - Strukturen |
| Englischer Titel: | Mask engineering - Pattern |
| Ausgabedatum: | 1997-02 |
| Einsprüche bis: | 1997-08-31 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 7 |
| Preis: | 35,90 EUR |
| Kurzreferat: | Das Dokument beinhaltet die Anforderungen an die Strukturen einer Maske. |
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