VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 5
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik; Blank-Defekte |
| Englischer Titel: | Mask engineering; blank defects |
| Ausgabedatum: | 1988-02 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 10 |
| Preis: | 49,50 EUR |
|
Bitte benutzen Sie für Einsprüche zu VDI-Richtlinien- | |
| Online-Bestellung (zum Download ist eine einmalige Registrierung erforderlich unter: www.mybeuth.de) | |
 Inhaltsverzeichnis der Richtlinie einsehen | |
