VDI-Richtlinie: VDI/VDE 3717 Blatt 10
| Technische Regel: | Richtlinie |
| ICS: | 29.045 |
| Deutscher Titel: | Maskentechnik; Maskentechnik für die Integrierte Optik |
| Englischer Titel: | Mask engineering; masks for integrated optics |
| Ausgabedatum: | 1993-03 |
| Erhältlich in: | deutsch / englisch |
| Herausgeber: | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik |
| zugehörige Handbücher: | VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik |
| Seitenanzahl: | 10 |
| Preis: | 49,50 EUR |
| Kurzreferat: | Das Dokument soll durch seine Begriffsdefinitionen, die sich an DIN VDE 0888 anlehnen, und Spezifikationsvorschläge vor allem die Zusammenarbeit zwischen Herstellern und Anwendern von Masken für integriert optische Bauelemente und Schaltungen erleichtern. |
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