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VDI 2083 Blatt 10 - Zurückgezogen Reinraumtechnik - Reinstmedien-Versorgungssysteme

Auf einen Blick

Englischer Titel
Cleanroom technology - High-Purity/Ultra-High-Purity (HP-/UHP-)media supply systems
Erscheinungsdatum
1998-02
Zurückziehungsdatum
2015-10
Herausgeber
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Autor
VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
26
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Reinstmedien (Chemikalien und Gase) werden in zunehmendem Maße für viele Produktionszwecke eingesetzt. Sie kommen in Reinsttechnologien wie z.B. der Halbleiterfertigung, Solartechnik, Faseroptik, Mikromechanik und vergleichbaren Branchen zur Versorgung vor. Ziel ist es, die Reinheit zwischen Medienanlieferung (Point of Supply/P.O.S.) und dem Eingang beim Verbraucher (Point of Entry/P.O.E.) nicht, bwz. nur in einem zulässigen Bereich zu verschlechtern. Zweck der Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb, Überwachung und Dokumentation von Reinstmedien-Versorgungssystemen. Die Reinheit bezieht sich auf die Verunreinigung mit Partikeln, Kationen, Anionen, TOC und anderen spezifischen Parametern (Fremdgase, Feuchte, usw.). Es werden keine Angaben über Reinheitsanforderungen angegeben, diese sind bezüglich den unterschiedlichen Anwendungen mit dem jeweiligen Betreiber zu definieren.

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