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VDI 2083 Blatt 1.1 - Projekt Reinraumtechnik - Reinheit bezüglich Nano-Partikel

Auf einen Blick

Englischer Titel
Cleanroom technology - Nanoparticle cleanliness
Mögliches Erscheinungsdatum
2020-05
Herausgeber
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Autor
VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
Zugehörige Handbücher
Kurzreferat

Die bestehenden Reinheitsklassen nach DIN EN ISO 14644-1 und VDI 2083 Blatt 1 bilden den Stand des Wissens von ca. 1990 ab. Zwischen diesen genormten Partikelreinheitsklassen und dem Bereich der AMC (molekularer Kontamination) nach VDI 2083/8.1 und DIN EN ISO 14644-8 klafft noch eine Lücke, die jedoch nach heutigem Wissensstand geschlossen werden kann.

Der fragliche Größenbereich gewinnt an Bedeutung durch die Verkleinerung der Strukturen im Halbleiterbereich sowie durch die Nanotechnik.

Anwendungen ergeben sich nach gegenwärtigem Stand des Wissens in Halbleiterei, Biotechnologie, Gentechnik, Luft- und Raumfahrt, Medizintechnik, Nanotechnologie, Lebensmitteltechnologie.

Inhalte: Verteilungsfunktion für „Nano“-Partikel, Agglomerationsverhalten hinsichtlich seiner Konsequenzen für die Messtechnik, Hinweise zur Messung (Orte, Zeiten)

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Bild: baranq/Shutterstock.com