VDI 2083 Blatt 13.2
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications
Auf einen Blick
- Englischer Titel
-
Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
- Erscheinungsdatum
- 2009-01
- Herausgeber
- Engl. VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 52
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
