VDI 2083 Blatt 3 - Überprüft und bestätigt Reinraumtechnik - Messtechnik in der Reinraumluft

Auf einen Blick

Englischer Titel

Cleanroom technology - Metrology and test methods

Erscheinungsdatum

2005-07

Herausgeber

VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik

Autor

VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung

Zugehörige Handbücher

• VDI-Handbuch Reinraumtechnik

Seitenanzahl

40

Erhältlich in

Deutsch, Englisch

Kurzreferat

Das Dokument gilt für Meßverfahren und Meßgeräte im Zusammenhang mit Abnahmemessungen und der Überwachung von in Betrieb befindlichen Reinraumtechnischen Anlagen. Für die Prüfung der einzelnen Elemente von Reinraumtechnischen Anlagen gelten gesonderte Normen und Richtlinien. Die hier beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet und unterscheiden sich insofern von Messverfahren für sonstige technische Systeme.

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