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VDI 2083 Blatt 4 - Zurückgezogen Cleanroom technology - Surface cleanliness

Auf einen Blick

Englischer Titel
Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit
Erscheinungsdatum
1996-02
Zurückziehungsdatum
2007-12
Ersatzdokument
Herausgeber
Engl. VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
51
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

The document is intended as an aid for the planning, generation, maintenance, restoration and evaluation of the required cleanliness on surfaces in cleanrooms. It includes the classification of the surface cleanliness, the requirements on the cleanliness and suitability of surfaces; the procedures for the cleaning and decontamination of surfaces; the test methods for the evaluation of the surface cleanliness.

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