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VDI/VDE 2655 Blatt 1.4 - Projekt Optische Messtechnik an Mikrotopografien; Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen für die Formmessung

Auf einen Blick

Englischer Titel
Optical measurement of microtopography; Calibrating confocal microscopes for shape measurement
Mögliches Erscheinungsdatum
2021-10
Herausgeber
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Autor
Fachbereich Fertigungsmesstechnik
Zugehörige Handbücher
Kurzreferat

Die Richtlinie enthält die Beschreibung der Kalibrierung für konfokale Mikroskope für die Formmesstechnik.

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