VDI/VDE 2655 Blatt 1.4 - Projekt Optische Messtechnik an Mikrotopografien; Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen für die Formmessung
Auf einen Blick
- Englischer Titel
- Optical measurement of microtopography; Calibrating confocal microscopes for shape measurement
- Mögliches Erscheinungsdatum
- 2021-10
- Herausgeber
- VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
- Autor
- Fachbereich Fertigungsmesstechnik
- Zugehörige Handbücher
- Kurzreferat
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Die Richtlinie enthält die Beschreibung der Kalibrierung für konfokale Mikroskope für die Formmesstechnik.