VDI/VDE 2656 Blatt 2 - Projekt Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen; Verfahren der Rauheitsmessung
Auf einen Blick
- Englischer Titel
- Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes; Method of roughness measurement
- Mögliches Erscheinungsdatum
- 2023-03
- Herausgeber
- VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
- Autor
- Fachbereich Fertigungsmesstechnik
- Zugehörige Handbücher
- Kurzreferat
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Diese Richtlinie beschreibt die Nutzung von Rastersondenmikroskopen zur Messung der Rauheit von Oberflächen von technischen Bauteilen. Über die Grundkalibrierung dieser Geräte hinaus, die in VDI/VDE 2656 Blatt 1 beschrieben wird, werden hier Eigenschaften des Geräts die in Bezug auf die Rauheitsmesstechnik wichtig sind, beschrieben. Hierzu werden - falls notwendig - Kalibrierverfahren vorgestellt, die Anforderungen für die Messung, die Parameter der Messung und die für die Bestimmung der Rauheit notwendigen Verfahren und Algorithmen dargestellt.