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VDI/VDE 3717 Blatt 10 - Ersatzlos zurückgezogen Maskentechnik; Maskentechnik für die Integrierte Optik

Auf einen Blick

Englischer Titel
Mask engineering; masks for integrated optics
Erscheinungsdatum
1993-03
Zurückziehungsdatum
2015-05
Herausgeber
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Autor
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
10
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Das Dokument soll durch seine Begriffsdefinitionen, die sich an DIN VDE 0888 anlehnen, und Spezifikationsvorschläge vor allem die Zusammenarbeit zwischen Herstellern und Anwendern von Masken für integriert optische Bauelemente und Schaltungen erleichtern.

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Preis
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