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VDI/VDE 3717 Blatt 6 - Ersatzlos zurückgezogen Maskentechnik - Pellicles

Auf einen Blick

Englischer Titel
Mask engineering - Pellicles
Erscheinungsdatum
1999-03
Zurückziehungsdatum
2015-05
Herausgeber
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
5
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Die Spezifikation beinhaltet die allgemeinen Anforderungen an Pellicles, wie sie zum Schutz von Photomasken verwendet werden. Sie entsprechen weitgehend den von SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute, Inc.) in den USA gemachten Standardsisierungsvorschlägen P5/86. Anwendungen für Bestrahlungen mit kurzwelligen UV-Licht (Wellenlänge <kleiner =>360 nm) sind noch nicht berücksichtigt.

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Preis
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