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VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik

 

 

08.03.2018
Jetzt Einspruchsmöglichkeit nutzen
 

Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 als Entwurf erschienen

Entwurf der Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 (Bild: VDI e.V.)

Entwurf der Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 (Bild: VDI e.V.)

Die Richtlinie „Optische Messtechnik an Mikrotopografien – Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung“ dient unter anderem dazu, die messtechnischen Eigenschaften von Interferenzmikroskopen zu charakterisieren. Dazu gehören auch die Themen Rückführung und Messunsicherheitsberechnung.

 

Im Einzelnen werden die Themen Einflussgrößen bei der Gerätekalibrierung, Mess- und Auswertebedingungen, Kalibrierung, Messunsicherheit und der Ergebnisbericht detailliert beschrieben. Im Fokus steht dabei die Formmessung. Die Richtlinie ist im engen Zusammenhang mit den bereits veröffentlichten Richtlinienblättern VDI/VDE 2655 Blatt 1.1 und VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 zu sehen. Für das neue Richtlinienblatt, das flächenhaft messende Interferenzmikroskope behandelt, gilt die Oberfläche als letzte Grenzfläche zwischen dem Festkörper und der umgebenden Luft. Daraus folgt, dass Einflüsse von Schichtsystemen und Materialinhomogenitäten nicht berücksichtigt werden.

 

Herausgeber der Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 „Optische Messtechnik an Mikrotopografien – Kalibrieren von Flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung“ ist die VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Die Richtlinie ist im März 2018 als Entwurf erschienen. Sie kann ab sofort zum Preis von EUR 92,60 beim Beuth Verlag in Berlin unter +49 30 2601-2260 bestellt werden. Onlinebestellungen sind unter www.beuth.de möglich. VDI-Mitglieder erhalten 10 % Preisvorteil auf alle VDI-Richtlinien. Die Möglichkeit zur Mitgestaltung der Richtlinie durch Stellungnahmen bestehen durch Nutzung des elektronischen Einspruchsportals oder durch schriftliche Mitteilung an die herausgebende Gesellschaft (gma@vdi.de). Die Einspruchsfrist endet am 31.08.2018. VDI-Richtlinien können in vielen öffentlichen Auslegestellen kostenfrei eingesehen werden.

 

Ihr Ansprechpartner im VDI:
Sascha Dessel M.Sc.
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Telefon: +49 211 6214-678
Telefax: +49 211 6214-97678
E-Mail: dessel@vdi.de