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VDI 2083 Blatt 13.2 Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications

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German title
Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
Publication date
2009-01
Publisher
Engl. VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
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Number of pages
52
Available in
German, English

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Price
132,20 EUR VAT included
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