VDI 2083 Blatt 9.1
Reinraumtechnik - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit
At a glance
- German title
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Cleanroom technology - Compatibility with required cleanliness and surface cleanliness
- Publication date
- 2021-01
- Publisher
- Bauen und Gebäudetechnik
- Author
- Technische Gebäudeausrüstung
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- Number of pages
- 57
- Available in
- German, English
- Abstract
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Diese Richtlinie gibt Hinweise zum Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten. Die Reinheit kontrollierter Bereiche ist kein Selbstzweck, sondern dient der Erreichung einer spezifizierten Produktqualität. Anforderungen, Verfahren und Nachweismethoden hängen daher ab von der konkreten Nutzung des Reinraums und den zulässigen Kontaminationen. Inhalt der Richtlinie ist eine standardisierte Vorgehensweise zur Qualifizierung von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten für reinheitstechnische Bereiche.