VDI 2083 Blatt 22
Reinraumtechnik - Messung kondensierbarer luftgetragener Substanzen
Auf einen Blick
- Erscheinungsdatum
- 2026-05
- Englischer Titel
-
Cleanroom technology - Measurement of condensable airborne substances
- Herausgeber
- Bauen und Gebäudetechnik
- Autor
- Technische Gebäudeausrüstung
- Seitenanzahl
- 20
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Zugehörige Handbücher
Kurzreferat
Diese Richtlinie beschreibt eine Methode zur Probenahme und Messung kondensierter chemischer Kontamination auf Oberflächen. Die Ergebnisse liefern Ausgangspunkte für den Schutz von Prozess und Produkt. Oberflächenkontaminationen können negative Auswirkungen auf die Produkte vieler produzierender Industrien haben. Nicht Gegenstand dieser Richtlinie sind Kontaminationen flüssiger Prozessmedien. Der Anwendungsbereich umfasst alle Produktions- und Lagerbereiche, in denen Produkte und Prozesse durch die chemische Oberflächenreinheit beeinflusst werden können. Diese Richtlinie behandelt organische Moleküle einschließlich Silanen und Siloxanen.