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VDI-Richtlinie: VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Kommentar
Allgemein
Kurzreferat
Kurzreferat:

Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.

Inhaltsverzeichnis: der Richtlinie einsehen
Schlagwörter:

Abnahmebedingung, Anforderung, Begriffe, Berechnung, Definition, Ebenheit, Eigenschaft, Form, Formmessung, Grenzwellenlänge, Interferenz, Interferenzmessverfahren, Merkmal, Messgerät, Messtechnik, Messung, Messunsicherheit, Mikroskop, Mikroskopie, normal, Oberfläche, Oberflächenmessgerät, optisches System, Strahlengang, Topographie, Vergleichbarkeit, Wellenlänge

Datum:

2018-03

Deutscher Titel:

Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Englischer Titel:

Optical measurement of microtopography - Calibration of interference microscopes for form measurement

Technische Regel: Richtlinien-Entwurf
Herausgeber:

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik

Autor:

Fachbereich Fertigungsmesstechnik

Zugehörige Handbücher: VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren Band 3
VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien
Preis:

94,50 EUR

Seitenanzahl:

31

ICS-Nummer:

17.180.01

Erhältlich in:

Deutsch

Schlagwörter:

Abnahmebedingung, Anforderung, Begriffe, Berechnung, Definition, Ebenheit, Eigenschaft, Form, Formmessung, Grenzwellenlänge, Interferenz, Interferenzmessverfahren, Merkmal, Messgerät, Messtechnik, Messung, Messunsicherheit, Mikroskop, Mikroskopie, normal, Oberfläche, Oberflächenmessgerät, optisches System, Strahlengang, Topographie, Vergleichbarkeit, Wellenlänge

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VDI/VDE 2655 Blatt 1.3

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