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VDI-Richtlinie: VDI/VDE 2656 Blatt 1 Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen

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Kurzreferat
Kurzreferat:

Diese Richtlinie ist beschränkt auf Rastersondenmikroskope und deren Kalibrierung. Ein Rastersondenmikroskop ist ein seriell arbeitendes Messgerät, das mit einer entsprechend feinen Sonde die Oberfläche des Messobjekts unter Ausnutzung einer lokalen physikalischen Wechselwirkung (wie dem quantenmechanischen Tunneleffekt, zwischenatomaren bzw. -molekularen Kräften, evaneszenten Moden des elektromagnetischen Feldes) nachfährt, wobei Sonde und Messobjekt nach einem zuvor festgelegten Schema in einer Ebene (nachfolgend x-y-Ebene genannt) relativ zueinander bewegt werden, während das Signal der Wechselwirkung aufgezeichnet wird und für die Regelung des Abstands zwischen Sonde und Messobjekt verwendet werden kann. In dieser Richtlinie werden solche Signale betrachtet, die zur Topografie-Bestimmung genutzt werden (nachfolgend "z-Signa" genannt).

Inhaltsverzeichnis: der Richtlinie einsehen
Schlagwörter:

Anforderung, Begriffe, Bestimmung, Betriebsmittel, Definition, Elektrotechnik, Kalibrierung, Kalibrierverfahren, mehrsprachig, Messgerät, Messgröße, Messtechnik, Messung, Messunsicherheit, Messverfahren, Mikroskopie, Raster, Rasterelektronenmikroskop, Verifizierung

Datum:

2008-06

Überprüft und bestätigt:

2014-01

Deutscher Titel:

Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen

Englischer Titel:

Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes - Calibration of measurement systems

Technische Regel: Richtlinie
Herausgeber:

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik

Autor:

Fachbereich Fertigungsmesstechnik

Zugehörige Handbücher: VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren Band 3
VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
Preis:

171,30 EUR

Seitenanzahl:

82

ICS-Nummer:

17.040.01

Erhältlich in:

Deutsch, Englisch

Schlagwörter:

Anforderung, Begriffe, Bestimmung, Betriebsmittel, Definition, Elektrotechnik, Kalibrierung, Kalibrierverfahren, mehrsprachig, Messgerät, Messgröße, Messtechnik, Messung, Messunsicherheit, Messverfahren, Mikroskopie, Raster, Rasterelektronenmikroskop, Verifizierung

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VDI/VDE 2656 Blatt 1

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