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VDI 2083 Blatt 13.1 - Überprüft und bestätigt Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Grundlagen

Auf einen Blick

Englischer Titel
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Fundamentals
Erscheinungsdatum
2009-01
Herausgeber
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Autor
VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
59
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Zweck dieser Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich der Planung, dem Bau, dem Betrieb und der Überwachung von Wasseraufbereitungsanlagen zur Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser. Diese Richtlinie gilt für die Qualitätsanforderungen, die Erzeugung und die Versorgung mit Reinstwasser von Prozessen mit hohen Reinheitsanforderungen, wie sie in der Reinraumtechnik verwendet werden. In der Kraftwerkstechnik und Kernkraftwerkstechnik werden ähnliche Prozesse und Systeme verwendet, diese sind aber nicht Gegenstand dieser Richtlinie, da sie an anderer Stelle beschrieben werden. Das Reinstwasser wird in verschiedenen Anwendungen genutzt, einerseits für Reinigungsprozesse und andererseits zur Verdünnung von konzentrierten Reinstchemikalien auf Gebrauchslösungskonzentrationen, oder es geht in das herzustellende Produkt über. So werden z. B. kontaminierte Oberflächen vor der Durchführung sensibler Arbeitsprozesse mit Reinstwasser gereinigt. An das hierzu eingesetzte Reinstwasser werden hohe Anforderungen bezüglich partikulärer, chemischer und biologischer Reinheit bei der Anwendung gestellt. Im Anwendungsbereich der Mikroelektronik/ Halbleitertechnik liegt der Schwerpunkt, bedingt durch die Verkleinerung der Strukturen, auf der Entfernung möglichst aller partikulären, chemischen und biologischen Kontaminationen. Im Bereich der Life Sciences liegt der Schwerpunkt hauptsächlich auf der Entfernung von mikrobiellen und partikulären Kontaminationen und einer Verminderung der Ionenfracht und der organischen Inhaltsstoffe auf einen festgelegten Grenzwert. Im Bereich der Biotechnik, insbesondere für die Molekularbiologie, werden die Kontaminationen wie bei der Mikroelektronik/Halbleitertechnik und beim Pharmawasser vermindert, dabei können andere Verunreinigungen, z. B. Enzyme und Nukleinsäuren, eine Rolle spielen, die jedoch hier nicht weiter behandelt werden, da sie ebenfalls an anderer Stelle reguliert werden. Zu beachten sind im Bereich Life Sciences die entsprechenden nationalen und internationalen Rechtsverordnungen. Die zur Anwendung kommenden Reinstwassersysteme strukturieren sich in: Aufbereitung einschließlich Vorbehandlung Speicherung und Verteilung Nutzung einschließlich Qualitätsmonitoring Die für die Reinstwasseraufbereitung notwendigen Verfahrensschritte und somit der Systemaufbau werden bestimmt aus der vorliegenden, durch örtliche Gegebenheiten geprägten Rohwasseranalyse und aus der im konkreten Anwendungsfall vorgegebenen Reinstwasserzielanalyse. Umwelttechnische Rahmenbedingungen, z. B. die Forderung nach einem verminderten Chemikalieneinsatz sowie die ortsspezifischen Kosten für Wasser und andere Betriebskosten, beeinflussen ebenfalls die Auswahl der einzelnen Verfahrensschritte. Die Speicherung und Verteilung wird bestimmt durch die örtlichen Aufstellungsgegebenheiten und den anzuschließenden Nutzungseinheiten. Allgemein gilt, dass aus einer Vielfalt von Lösungsmöglichkeiten eine wirtschaftliche Lösung erarbeitet werden muss.

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