VDI 2083 Blatt 4
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Zurückgezogen
Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit
Auf einen Blick
- Englischer Titel
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Cleanroom technology - Surface cleanliness
- Erscheinungsdatum
- 1996-02
- Zurückziehungsdatum
- 2007-12
- Ersatzdokument
- Herausgeber
- Bauen und Gebäudetechnik
- Autor
- Technische Gebäudeausrüstung
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 51
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Kurzreferat
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Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.
