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VDI 2083 Blatt 4 - Zurückgezogen Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit

Auf einen Blick

Englischer Titel
Cleanroom technology - Surface cleanliness
Erscheinungsdatum
1996-02
Zurückziehungsdatum
2007-12
Herausgeber
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik
Autor
VDI-Fachbereich Technische Gebäudeausrüstung
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
51
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.

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