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VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 - Überprüft und bestätigt Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung

Auf einen Blick

Englischer Titel
Optical measurement of microtopography - Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement
Erscheinungsdatum
2010-10
Herausgeber
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Autor
Fachbereich Fertigungsmesstechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
36
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Die Richtlinie beschreibt Verfahren zur Kalibrierung bildgebender konfokaler Mikroskope und Tiefeneinstellnormale für die Rauheitsmessung und bilden damit die Grundlage zur Rückführung von Messsystemen auf nationale Normale.Zunächst wird die Vergehensweise zur Ermittlung der Kalibrierfähigkeit beschrieben. Weiterhin werden Rahmenbedingung für die Kalibrierung sowie Mindestanforderungen an den Kalibriervorgang festgelegt. Schließlich werden noch die Anforderungen an den Ergebnisbericht festgelegt. Ein GUM-konformes Model für die Ermittlung der Messunsicherheit vervollständigt die Verfahrensanweisung.

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Preis
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