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VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Auf einen Blick

Englischer Titel
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
Erscheinungsdatum
2020-02
Herausgeber
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Autor
Fachbereich Fertigungsmesstechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
50
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.

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Preis
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Bild: baranq/Shutterstock.com