VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Auf einen Blick
- Englischer Titel
- Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
- Erscheinungsdatum
- 2020-02
- Herausgeber
- VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
- Autor
- Fachbereich Fertigungsmesstechnik
- Zugehörige Handbücher
- Seitenanzahl
- 50
- Erhältlich in
- Deutsch, Englisch
- Kurzreferat
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Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.
