VDI/VDE 2655 Blatt 1.3 Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Auf einen Blick

Englischer Titel

Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement

Erscheinungsdatum

2020-02

Herausgeber

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik

Autor

Fachbereich Fertigungsmesstechnik

Zugehörige Handbücher

• VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren - Band 3: Betriebsmittel
• VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
• VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien

Seitenanzahl

50

Erhältlich in

Deutsch, Englisch

Kurzreferat

Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.

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