Direkt zum Inhalt

VDI/VDE 2655 Blatt 1.3

Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement

Auf einen Blick

Englischer Titel

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Erscheinungsdatum
2020-02
Herausgeber
Engl. VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Zugehörige Handbücher
Seitenanzahl
50
Erhältlich in
Deutsch, Englisch
Kurzreferat

This standard characterises interference microscopes with their measuring technology properties for measuring the surfaces of form elements. This includes the feedback and the calculation of the measurement uncertainty when measuring shape parameters. In addition to the interference microscopes described in VDI 2655 Part 1.1, the methods described here can also be applied to interferometers whose measuring fields can have dimensions of up to approx. Ø 20 mm.

Inhaltsverzeichnis der Richtlinie ansehen

Richtlinie bestellen

Preis ab
123,60 EUR inkl. MwSt.
Bei Beuth bestellen

FAQ

Stellen Sie Ihre Frage / Nehmen Sie Kontakt mit uns auf

Teilen